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更新时间:2022-06-07
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2dsemiconductors MBE-MoSe2说明书
分子式: MoSe2
一个分子束外延 (MBE) 生长的 MoSe2 单分子层。MBE 是一种用于单晶质量薄膜沉积的外延方法,与化学气相沉积 (CVD) 或金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 技术相比,它提供了高结晶度和降低的缺陷密度(参见下面的 HRTEM 图像)。MoSe2 单层的 MBE 生长发生在 MBE 室中,基础压力为 8E-9 Torr,沉积速率极慢(每秒 5-100 个原子)以达到结构。典型的 MBE 生长在双面抛光 c 切蓝宝石上产生单层厚的 MoSe2 隔离三角形。目前,MBE MoSe2 仅在蓝宝石基板上提供,但在不久的将来,我们的 MBE 基板还将包括云母、石墨和金。
MBE、CVD、MOCVD的比较

MBE、CVD和MOCVD之间的TEM比较

从 MBE MoSe2 收集的光学图像

MBE MoSe2 悬浮在 TEM 网格上

从 MBE MoSe2 收集的 PL 光谱

从 MBE MoSe2 收集的拉曼光谱
